產品應用

ALD及其他真空系統中的應用

產品描述

在ALD領域及其他真空系統中，熱井、腔體、管路系、閥門、源瓶、四通等部分需要加熱保溫，由于結構復雜，

傳統的加熱保溫方式無法實現較好的加熱效果，可拆卸加熱套，可以按照被加熱體的外形尺寸制作，加熱

保溫一體設計，可以非常方便的安裝拆卸反復使用，幾乎不用維護，內置溫度傳感器，可以非常方便的控

制加熱溫度。

按照客戶要求的外形尺寸，使用電壓、最高使用溫度等參數進行設計，最高加熱溫度小于650℃.

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